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【千赢网页首页】ABBWPA分析仪在半导体湿法过程监测的应用
时间:2021-01-01 来源:千赢网页登录 浏览量 30298 次
本文摘要:WPA是一种专为消除步骤线上、动态性监管而设计方案的剖析机器设备。

WPA是一种专为消除步骤线上、动态性监管而设计方案的剖析机器设备。该机器设备可对半导体材料生产工艺流程的消除、转印纸、去光胶液全过程中所应用的各种各样回绝十分苛刻的物质的量浓度展开监测,另外,一台WPA分析仪可监测高达八种各有不同的流路。

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  文中对应用SC1,SC2,DHF,BOE和SPM有机化学双组分的消除业务流程优化难题展开关键研究。根据经典案例对WPA运用于展开表述。  剖析技术性  磁感应光谱仪的近红外光谱仪(NIR)一部分接近东西方白(MIR)与红外感应(VIS)中间。

氢原子的基频与合频人组具有是该光谱仪区组成的关键原理。  ABBWPA分析仪利用FT-NIR光谱仪的优点,并结合非参与型的TeonClippIR 发明专利对水溶液展开动态性监测。WPA分析仪利用光纤线传输将来源于光谱仪的NIR光传送至监测点。该配置可将分析仪服务器改装在一切一般自然环境中,可与有害物和自然环境相互之间阻隔,因而大幅度降低了湿式环境要素阻拦。

  应用NIR技术性的检验缩关键不尽相同欲意监测的有机化学双组分的光谱仪特性。在液体状态下,可检验化学物质的浓度值可低约100ppm(0.01%),这不尽相同有机化学双组分包括。  系统软件表述  1系统配备  WPA分析仪将FTIR光谱仪与铁氟龙ClippIR 融合可完成非参与式的监测作用。光谱仪还包含一个多分析仪控制模块,该控制模块可造成光波,不能另外映照八路各有不同的监测点。

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根据光缆电缆,每一个监测点均可在一百米以外与分析仪联接。与机械设备多通道变换仪器设备相比,该设计方案具有非常高的可重复性优势。

图2表明了一种系统设置,还包含有五个分析仪和三个空出位置。  2取样方式  ClippIR 发明专利(闻图3)可根据目前的特氟龙管道搭建线上、动态性监测。改装省时省力,且不务必管路跨过粘合新的建造或改装加温设备。每ClippIR 仅有可钩至当今特氟龙管道的表面。

来源于光谱仪的NIR光可根据特氟龙管道传送,随后返回至光谱仪的八个探测器的在其中一个探测器上。


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